晶圓手臂末端手爪快換
經使用久而受到汙染的末端手爪,可快速手動/自動更換,節省繁瑣調整定位、螺絲鎖緊時間
定位+夾緊+導氣 快速一次完成
SXQ
紅圈處為自動氣路接頭,可藉由快換將氣壓或負壓通往前端手爪
WPT