OHT晶圓盒搬運電缸

晶圓運輸新方案——輕量高精度 FOUP 抓取模組

上下各司其職方式，最適合 OHT 系統整合。
下部雙滑台「指頭」結構以平面支撐 FOUP 自重，無需夾持即可穩固承載；上部輕觸滑台則提供側向防晃支撐，使 FOUP 在高速行進中依然穩定精準。

整體模組具備 體積小、重量輕、高精度、高剛性 等特性，安裝彈性高，行程短、結構簡潔，大幅降低天車負載與維護成本。
免潤滑、低磨耗設計確保 長壽命與免維護運行，非常適合半導體晶圓廠自動化運輸應用。

控制器內置，無須額外安置設定。

此方案可協助 OHT 製造商打造更輕盈、更穩定、更可靠的晶圓搬運系統。

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OHT天車 晶圓盒FOUP 夾持搬運提案 "電動直線滑台"

OHT天車 晶圓盒FOUP 夾持搬運提案 "電動平行夾爪"

OHT天車 晶圓盒FOUP 兩側穩固支撐提案 "電動直線滑台"

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